隨著科技的日益發(fā)展，人們對工廠車間的地面工程要求越來越高，做環(huán)氧砂漿薄涂、環(huán)氧自流平、環(huán)氧彩砂地坪、環(huán)氧防靜電自流平等地坪，車間的凈化要求越來越高，那么電子廠凈化車間為什么要控制溫度呢？

      溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來確定，在舊廠房改造廠家足加工工藝的條件下，首選應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。  

     電子廠凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來確定。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。泉州電子廠凈化車間濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密舊廠房改造廠家置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。   

     然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則：
1、電子廠凈化車間潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。  

2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。  

 要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。
     隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的  

1、送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要舊廠房改造廠家求速度衰減更快，擴散角度更大  

2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設計規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s  

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